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非接觸式激光干涉儀

LY1000非接觸式激光干涉儀

產品描述:

高靈敏度,不需要靶鏡,非接觸式測量
可測的微、小、輕、薄、黑、透、易變形、熱表面
對被測物表面反射率無嚴格要求,可測“黑”表面
采用激光自干涉原理,測量結果可溯源
無外部光學器件,操作靈活方便
可非接觸測量物體的位移、振動,以及材料膨脹系數等。

服務熱線:400-8168-900
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   傳統的激光干涉儀通常需要在被測目標上設置靶鏡,以反射測量光線獲得高精度的測量結果。鐳測科技推出的國際首創的LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀,無需靶鏡,僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實現高精度測量,是真正意義上的非接觸式測量。 除可用于傳統激光干涉儀適用的測量目標外,還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標測量,如液面高度、半導體晶圓位置、微機械位移、材料膨脹系數、振動等。
        
        以下是本產品獨特的技術或特點:

1、高靈敏度,可實現對非配合目標的非接觸式測量
2、準共路技術有效抑制儀器內部環境變化引起的漂移,儀器具有較小的零漂。
3、具有較高的分辨率和較大量程,測量結果可以溯源。

       
LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達納米量級,量程可達2m,如果加擴束鏡,可達數米。它同干涉儀一樣,測量結果可以溯源到光波長,從而無需標定。
產品由激光測頭、信號處理電箱和軟件組成。


(欲了解更多信息,請閱覽本網站解決方案欄目中的:非接觸式激光干涉儀(激光回饋干涉儀)  )



型號鐳測LY1000
激光頭尺寸300mm×126mm×90mm
激光頭重量4kg
激光工作波長1064nm
激光功率1~5mW
激光光束直徑3~5mm
工作溫度范圍+10℃~+35℃
儲存溫度范圍+15℃~+50℃
系統組成激光頭、控制箱、環境補償傳感器、連接電纜
激光穩頻精度1×10-6
線性測量范圍2m
線性測量精度1×10-6
分辨率2nm
被測物反射率10-7~1
最高測量速度50mm/s

 



懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

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圣路易斯華盛頓大學用于顯微鏡位移測量

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合肥工業大學使用儀器測量微納三坐標位移臺位移
 
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上海東華大學使用該儀器測量導軌與液面之間高度差變化
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壓電材料測量


回饋干涉儀用戶手冊2019.pdf

鐳測激光干涉儀簡介.pdf




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