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突破!我國雙折射雙頻激光干涉儀實現批量生產
發布時間:2021-03-03瀏覽次數:206

  3月2日,記者從清華大學精密儀器系獲悉,該系張書練教授課題組進行原理研究并由北京鐳測科技有限公司開發生產的雙折射雙頻激光干涉儀實現批量生產。

  雙頻(兩頻率)激光干涉儀是科學研究、光刻機、數控機床、航空航天、艦船等行業都離不開的光學尺子,用于測量零部件的尺寸,角度,位置,直線性,也是檢定各類數控機床、激光加工機床以及光刻機臺的精度,進行誤差補償的基本儀器。

  張書練介紹,雙頻激光器是雙頻激光干涉儀的核心部件。國外干涉儀廠家都是自制專用激光器,稱為塞曼雙頻激光器,不對外供應。此前我國的雙頻激光干涉儀只能進口普通激光器,從中選出可用的,淘汰率高,性能上不去,導致雙頻激光干涉儀國產化困難。

  據介紹,此次清華大學精密儀器系發明的雙折射原理的雙頻激光器比傳統的塞曼雙頻激光器的激光功率高一倍、頻率間隔大一倍或兩三倍、沒有兩個頻率之間耦合串混。分辨率達到1納米(十億分之一米),線性測量長度范圍0到70米,非線性誤差小于1納米,測量速度超過2米。

  張書練指出,雙折射雙頻激光器的使用帶動了干涉儀整機的光機電系統創新設計,使雙折射雙頻激光干涉儀具有便攜,方便,魯棒等優良性能。(記者 馬愛平)

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