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雙頻激光干涉儀

LH1000雙頻激光干涉儀

產品描述:

光刻機專用雙頻激光干涉儀
可構建XY位移臺等多軸測量系統
全球獨家采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器
無圓偏振光轉線偏振光非線性誤差
大功率可同時測量更多數量的軸向位移
大頻差,測量速度更快

服務熱線:400-8168-900
立即咨詢

專為光刻機配套開發的高精度測量系統;

通過國家重大專項“極大規模集成電路制造技術及成套工藝”項目驗收。

采用全球唯一能直接輸出線偏振光的雙頻激光器;

全球最低非線性高精密測量系統,測量更精準;

可提供1~20MHz頻差內任意頻差產品,滿足各種測量速度需要。

光源和測量信號接收單元分體式設計,方便搭建XY位移臺等多軸測量系統;

精巧的測量信號光纖接收頭,即使空間狹小也能方便安裝;

標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數據接口,可直接替換現有產品。



型號

頻差(MHz)

最小出光功率(μW)

光斑尺寸(mm)

穩頻精度(ppm)

LH1000A

1.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000B

2.0±0.5

> 500

6

±0.02

LH1000C

3.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000D

4.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000DL

5.0±0.5

> 500

6, 9

±0.02

LH1000EL

6.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000FL

7.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000GL

8.0±0.5

> 500

9

±0.02

LH1000H

9.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000I

10.0-20.0(按需定制)

> 500

3, 6, 9

±0.02

注:可根據需求定制更小頻差范圍。

QQ截圖20190218110850.png

 


懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

LH1000雙頻激光干涉儀應用于尼康光刻機后,其工作臺精度由原來的23nm提高到6nm!

圖片1.jpg


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