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雙頻激光干涉儀

LH2000雙頻激光干涉儀

產品描述:

專為計量檢測用戶打造的高精度雙頻激光干涉儀
性能卓越的高精度線性位移、長度檢測標定工具

服務熱線:400-8168-900
立即咨詢

    滿足計量檢測用戶更穩定、更高精度、更便利的使用要求;

    以光刻機用激光干涉測量系統為基礎,

    在保留高穩定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時,

    將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里,

    一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗;

    典型頻差7±0.5 MHz,測速高達2m/s。

 系統組成:
     LH2000激光測頭及附件
     環境補償單元
     LaserLC測量軟件
     測量鏡組(選配:位置度測量鏡組、直線度測量鏡組、角度測量鏡組等)
     光學調整附件
     三腳架及其他測量附件
 

(欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異,請閱覽本網站解決方案欄目中的:雙頻激光干涉儀




激光頭尺寸330mm×110mm×95mm
激光頭重量3.3kg
激光光束直徑6mm
激光功率 >0.5mw
真空波長632.99nm
頻差可定制 典型值7±0.5 MHz
工作溫度范圍+10℃~+30℃
儲存溫度范圍+15℃~+45℃
激光穩頻精度±0.02ppm
線性測量范圍40m
線性測量精度±0.1ppm(真空中)
±0.4ppm*(使用LC-2000環境補償器)
分辨率1nm
測量速度2m/s
工作電源220V/50Hz



懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。


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